[发明专利]液滴产生器在审
申请号: | 202010504014.2 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN112295761A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 萧任宏;郑博中;陈立锐;简上杰 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | B05B1/24 | 分类号: | B05B1/24;G03F7/20 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开提供一种液滴产生器,包含操控系统、储槽、喷嘴、第一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接以用于产生锡液滴,其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面,其中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。 | ||
搜索关键词: | 产生器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司,未经台湾积体电路制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010504014.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。