[发明专利]液滴产生器在审

专利信息
申请号: 202010504014.2 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN112295761A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 萧任宏;郑博中;陈立锐;简上杰 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: B05B1/24 分类号: B05B1/24;G03F7/20
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 顾伯兴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 本公开提供一种液滴产生器,包含操控系统、储槽、喷嘴、第一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接以用于产生锡液滴,其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面,其中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。
搜索关键词: 产生器
【主权项】:
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