[发明专利]一种PT对称垂动微机电系统有效
| 申请号： | 202010504080.X | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111960374B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王立峰;张驰;张曼娜;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱桢荣 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PT对称垂动微机电系统，包括衬底、锚区、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路；所述第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底和锚区，且为镜像对称结构；所述第一微机电结构包括第一谐振梁、第一差分电容下电极、第一差分电容上电极、第一上电极锚区和第一耦合结构。所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等本发明有利于进一步完善PT对称理论体系，能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能，能为微机电系统的设计提供了一种新原理和新思路，可能发现微机电系统的新现象或新效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pt 对称 微机 系统 | ||
【主权项】：
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