[发明专利]一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法在审
| 申请号： | 202010504497.6 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111627848A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 居建华 | 申请（专利权）人： | 无锡永迈光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/44;C23C16/458;C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 仇波 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低成本LPCVD用载料舟及其制备方法，它包括：金属骨架，所述金属骨架包括多块支撑板和连接杆组，多块所述支撑板相对且间隔设置；所述连接杆组包括连接多块所述支撑板的至少一根第一连接杆以及连接多块所述支撑板且与所述第一连接杆相平行的多根第二连接杆，所述第一连接杆与多根所述第二连接杆处于不同平面内，所述第一连接杆在多根所述第二连接杆所处平面内的投影落在间距最大两根所述第二连接杆之间；涂层，所述涂层形成在所述金属骨架的表面。从而减少LPCVD工艺的石英舟成本，可实现重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 lpcvd 用载料舟 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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