[发明专利]应用于降低TTV的单晶硅片的切割方法有效

专利信息
申请号: 202010505539.8 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN111633854B 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 钱鑫;王艺澄 申请(专利权)人: 江苏美科太阳能科技股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 王美章
地址: 212200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出了一种应用于降低TTV的单晶硅片的夹紧装置及切割方法,该装置包括依次连接的第一垫条、第二垫条和粘结板;第一垫条固定且平行于金刚线切割线网的走线方向设置;第二垫条倾斜设置;第二垫条的一端固定在第一垫条上,另一端远离第一垫条以形成安装空间;安装空间内设置一调整垫片;调整垫片的一侧固定在第一垫条上,另一侧固定在第二垫条上;粘结板平行于第二垫片;粘结板背向第二垫条的侧面上固定一硅锭。本发明的切割方法中,将硅锭和切割线网之间的接触方式由面接触调整为点接触,避免了金刚线切入时的打滑现象;通过设定正向走线时,第一步走线的金刚线进刀方向和硅锭的倾斜方向的对应关系,实现了对TTV的有效控制。
搜索关键词: 应用于 降低 ttv 单晶硅 切割 方法
【主权项】:
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