[发明专利]基于空气隔热层的MEMS微热板及其制作方法有效
| 申请号： | 202010505550.4 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111693577B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 杨翠;毛维;闵星;艾治州;史芝纲;王晓飞 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H05B3/20;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于空气隔热层的MEMS微热板及其制作方法，主要解决现有微热板温度分布不均和功耗大的问题，其自下而上包括：硅衬底(1)，下绝缘层(2)、上绝缘层(3)和覆盖层(4)；覆盖层(4)的上部中间设有测试电极(5)和加热电极(6)，且测试电极(5)被加热电极(6)所包围，覆盖层(4)上部的四个对角位置设有极板(7)，该硅衬底(1)通过腐蚀形成空气绝热槽(8)，该上绝缘层(3)中间自上而下设有通孔阵列(10)和空气隔热层(9)，下绝缘层(2)、上绝缘层(3)和覆盖层(4)通过腐蚀同时形成加热平台(11)和悬臂(12)，本发明温度分布均匀、功耗低，可用于气体传感器的加热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 空气 隔热层 mems 微热板 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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