[发明专利]谐振器及滤波器在审
| 申请号： | 202010507710.9 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111585537A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵坤丽 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54;H03H9/58 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种谐振器及滤波器。所述谐振器包括：衬底；形成于所述衬底上的压电堆叠结构，所述压电堆叠结构包括依次设置的底电极、压电层和顶电极；以及，形成于所述衬底与所述压电堆叠结构之间的谐振腔；所述谐振器包括谐振区和非谐振区，所述底电极和所述顶电极中的至少一个包括在所述非谐振区中相对于所述衬底上表面呈斜坡状的第一侧壁，且所述第一侧壁在背离所述谐振区中心方向上的厚度逐渐减小。本发明能够提高器件电学性能和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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