[发明专利]一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010507870.3 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111560587A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;赵泽良;潘杰;王学泽;马国成 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/08;B22F1/00;B22F3/093;B22F3/03;B22F3/14;B22F3/15;B22F5/00;C22C27/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铁钴钽合金溅射靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)将具有目标原子比例的铁钴钽合金粉末装入模具并封口，进行振实处理；(2)将振实后的模具进行脱气处理；(3)将脱气后的模具在750‑900℃下进行热等静压处理，得到铁钴钽合金溅射靶材粗品；(4)将得到的铁钴钽合金溅射靶材粗品进行机加工，得到铁钴钽合金溅射靶材。所述制备方法具有工艺简单、成本较低等优点；此外，制备得到的铁钴钽合金溅射靶材不仅致密度达到98％以上，抗弯强度在700MPa以上，磁通量达到30％以上，含氧量在600ppm以下，还具有良好的机加工性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铁钴钽 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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