[发明专利]一种铝钪合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010511640.4 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111636054A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡小勇;张科;侯庆龙;吴荣祯;曹建亮;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;B22F9/08;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪合金溅射靶材的制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合，将所得铝钪合金配料进行真空熔炼，得到铝钪熔融合金液；利用惰性气流将所述铝钪熔融合金液进行真空气雾化，得到铝钪合金粉；将所述铝钪合金粉依次进行外包套和热等静压成型，得到铝钪合金溅射靶坯；将所述铝钪合金溅射靶坯进行绑定机加工，得到铝钪合金溅射靶材。本发明利用惰性气流进行真空气雾化，隔绝了铝钪熔融合金液与氧的接触，制备的铝钪合金粉球形度高、氧含量低，晶粒组织、粒度和微观结构均匀；采用热等静压成型得到的铝钪合金溅射靶材致密度高、化学成分均匀、无偏析等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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