[发明专利]一种靶材自动化绑定方法在审
| 申请号： | 202010511696.X | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111500993A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 黄先彬;张科;苏百樱;林晓明;曹建亮;李强 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材自动化绑定方法，属于靶材绑定技术领域。本发明提供的靶材自动化绑定方法，包括依次进行的检料处理、第一预热处理、金属化处理、第二预热处理和自动化绑定处理，各处理步骤基于自动化设备(检料设备、第一预热设备、金属化设备、第二预热设备和自动化绑定设备)协同作用，避免了人工绑定造成产品质量差异性大的问题；同时采用输送辊道实现靶片和背板的移动，且各自动化设备配置合理，可以显著缩短绑定周期，提高生产效率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 绑定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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