[发明专利]一种过滤装置及半导体加工设备在审
| 申请号： | 202010515631.2 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111714974A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 宋晓彬;赵福平 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;H01L31/18;C23C16/44;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种过滤装置及半导体加工设备，所公开的过滤装置用于半导体加工设备，过滤装置包括壳体(100)和滤芯(200)，其中：所述壳体(100)具有第一内腔(110)、入口(120)和出口(130)，所述滤芯(200)设置于所述第一内腔(110)，所述入口(120)与所述第一内腔(110)连通，所述滤芯(200)具有第二内腔(210)，所述出口(130)与所述第二内腔(210)连通，所述滤芯(200)开设有多个滤孔，所述第一内腔(110)与所述第二内腔(210)通过所述滤孔连通。上述方案能够解决硅片加工过程中反应腔室内粉尘量较大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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