[发明专利]一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010517407.7 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111719127A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;朱刘;童培云;何坤鹏;钱增杰 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/03;C22C19/05;C22F1/10;B22D13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将镍和铬混合一同置于第一真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬中间合金熔液；将铝和钇混合一同置于第二真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到铝钇中间合金熔液；将镍铬中间合金熔液、铝钇中间合金熔液和硅混合一同置于第三真空熔炼炉内的坩埚里熔炼得到镍铬铝钇硅合金熔液；将镍铬铝钇硅合金熔融液体置于石墨模具中进行离心浇铸后得到镍铬铝钇硅合金靶材铸锭；将镍铬铝钇硅合金靶材铸锭依次进行退火、去氧化、机加工后，得到镍铬铝钇硅合金靶材。本发明提供的一种镍铬铝钇硅合金靶材的制备方法，采用离心浇铸，能有效解决现有技术使用重力浇铸制合金中存在大量的缩孔和疏松等缺陷等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镍铬铝钇硅 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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