[发明专利]一种新型晶硅PERC电池前氧化层制备工艺

摘要

本发明涉及晶硅PERC电池钝化领域。一种新型晶硅PERC电池前氧化层制备工艺，按照清洗制绒、扩散制结、背面刻蚀、双面氧化铝制备、正面氮化硅膜制备、背面氮化硅膜的制备、背面激光开槽、正背电极的制备的工艺过程进行；双面氧化铝制备过程中，将硅片插入铝制花篮中，循环通入TMA和水蒸气，在硅片的正、背面各制备一层3‑5nm的氧化铝膜；正面氮化硅膜制备过程中，将制备完双面氧化铝的硅片，放入石墨舟，在管式PECVD中制备氮化硅，通入NH3和N2气后，接通射频源，通过高能等离子体将正面氧化铝膜层打掉，同时形成一层氧化硅层。