[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备在审
| 申请号： | 202010519683.7 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN112117988A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种体声波谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备，制造方法包括：提供衬底，衬底中形成有凹槽；形成位于凹槽中的牺牲层；形成位于牺牲层上的底部电极，底部电极的部分边界位于凹槽上方，部分延伸至凹槽外周的衬底上；形成位于底部电极露出的衬底上并与底部电极侧壁相接触的平坦层，平坦层顶面和底部电极顶面相齐平；形成覆盖底部电极和平坦层的压电层；在压电层上形成顶部电极，压电声学共振叠层包括底部电极、压电层和顶部电极；形成贯穿压电声学共振叠层的释放孔；通过释放孔去除牺牲层，形成空腔。本发明形成底部电极和平坦层，为压电层的形成提供平坦面，使压电层能够保持平整，从而消除边界驻波和杂波，进而提高谐振器的品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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