[发明专利]一种利用化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的工艺

摘要

一种利用化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的工艺，涉及氮化物粉体制备技术领域。步骤为：首先构建化学气相沉积反应器，然后通过1#进气管持续通入氩气+氮气置换设备内部以形成惰性气氛；由进出料控制机构向化学气相沉积反应器的反应箱体中输送氢化钛颗粒，反应载气氨气由2#进气管通入反应器中，升温开始化学气相沉积反应反应；反应结束后，持续通入氩气+氮气作为淬冷气流进行冷却，待冷却至常温时，通过进出料控制机构排出反应得到的纳米氮化钛粉体。本发明工艺操作更加简便，安全性高，制备产物纯度较高。通过合理设计化学气相沉积反应器，使加工操作安全性得到显著提升。通过进出料结构的设计，使进料、出料操作更为安全、便捷。