[发明专利]一种基于复合式光栅的微位移传感器有效
| 申请号： | 202010523030.6 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111536883B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光;李孟委;亓杰;张瑞;金丽 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微位移传感器技术领域，具体涉及一种基于复合式光栅的微位移传感器，所述激光器的下方设置有分束光栅，所述分束光栅的正一级衍射光路和负一级衍射光路上分别设置有第一反射镜、第二反射镜，所述第二反射镜的反射光路上设置有第三反射镜，所述第三反射镜的反射光路上设置有分束镜，所述分束镜的透射光路上设置有位移反射镜，所述干涉仪探测器设置在分束镜的一侧，所述第一反射镜的反射光路上设置有上层光栅，所述第一下层光栅的下方设置有第一探测器，所述第二下层光栅的下方设置有第二探测器。本发明在Talbot像离面方向上光强呈正弦变化的原理实现了位移测量。本发明用于微位移的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 复合 光栅 位移 传感器 | ||
【主权项】：
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