[发明专利]一种推拉式线性等离子源及其应用在审
| 申请号： | 202010523203.4 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111586958A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 上官泉元 | 申请（专利权）人： | 常州比太科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/509 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 吴倩 |
| 地址： | 213164 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种推拉式线性等离子源，包括至少一对水平并列设置的电极，成对设置的电极均包括线性方向平行并分别连接第一射频电源及第二射频电源的第一电极及第二电极，第一射频电源与第二射频电源通过相位同步器控制相位变换形成推拉式；以及位于第一电极及第二电极的下方并连接低频电源或接地的第三电极，第三电极与第一电极及第二电极平行设置；第一电极与第二电极连接气源以将气体通过第一电极、第二电极通入工作区间，并通过第一射频电源与第二射频电源将气体激发以在三个电极空间中形成等离子体，等离子体作用于连续通过工作区间的基板，以用于基板的等离子强化的气相沉积‑真空镀膜、干法刻蚀或太阳能电池制造用干法制绒过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 推拉 线性 离子源 及其 应用 | ||
【主权项】：
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