[发明专利]涂胶方法有效
| 申请号： | 202010525375.5 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111505906B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张晨阳;朴勇男;邢栗 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涂胶方法，包括偏心喷涂处理、对心喷涂处理和成膜处理。本发明的所述涂胶方法先通过位置控制部使喷涂部的底部中心正对待处理基板表面的第一位置，且所述第一位置距离所述待处理基板中心的直线距离大于0，然后进行所述偏心喷涂处理；所述偏心喷涂处理完成后，再将所述喷涂部的底部中心正对所述待处理基板表面的中心，以进行所述对心喷涂处理，有利于图形转移介质在所述待处理基板表面形成环状和中心点状分布，以进一步通过所述成膜处理在所述待处理基板表面形成良好的均匀性且无色差的光阻。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 方法 | ||
【主权项】：
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