[发明专利]一种反射式样品形貌测量装置及方法在审
| 申请号： | 202010526234.5 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN111982020A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 杨光华;王丹;齐月静;宗明成;李璟;卢增雄;孟璐璐;折昌美 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种反射式样品形貌测量装置及方法。所述装置包括：顺次设置的照明组件、投影标记组件、投影光学组件、探测光学组件、探测标记组件、和数据采集组件；并在所述投影光学组件和所述探测光学组件之间的光路上设置待测样品。通过对投影光学组件和探测光学组件的优化设计，实现了成像质量高、结构紧凑、无色差、不需增加额外调整部件的成像光学系统，该装置及光学系统易于工程实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 式样 形貌 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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