[发明专利]炉管的进气装置及其炉管结构

摘要

公开了一种炉管的进气装置，包括进气口；进气管，一端连接进气口，所述进气管为具有弧度的非直管；喷嘴，位于所述进气管的另一端，沿所述进气管长度方向并面向晶舟均匀设置，所述喷嘴设置为倾斜状态；其中，所述反应气体由所述进气口进入进气管，并由所述喷嘴向所述晶舟中的硅片喷射，使晶舟中的硅片均匀接触到反应气体，所述硅片接触到的反应气体的温度与所述硅片的温度之间的温度差小。本申请的炉管的进气装置，通过将进气管的直管道改成具有弧度的非直管，加长了反应气体到达晶舟的时间，从而使得反应气体与硅片之间的温度差减小，进而减小了因温度差而导致的硅片翘曲值急剧增加的问题。