[发明专利]一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法在审
| 申请号： | 202010529543.8 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111519246A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 易德福 | 申请（专利权）人： | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/00 | 分类号： | C30B28/00;C30B29/42;G01K13/00;G01K1/14;G01K3/14 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 杜丹盛 |
| 地址： | 344000 江西省抚*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 多晶 合成 炉温 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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