[发明专利]大口径平面镜的中、低阶面形检测装置、系统及存储介质有效
| 申请号： | 202010529680.1 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN111551129B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 安其昌;刘欣悦;李洪文;唐境 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛娇 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径平面镜的低阶面形检测装置、大口径平面镜的中阶面形检测装置、大口径平面镜的中低阶面形检测系统、装置、及计算机可读存储介质，其中，低阶面形检测装置和中阶面形检测装置均利用相同的瑞奇‑康芒的光路架构，以微透镜阵列和相机形成类似HASO波前传感器的检测部件检测低阶面形数据，进而获得大口径平面镜的低阶面形，简化了低阶面形检测的难度和成本，而以相机和孔径遮挡板配合中介面形数据，进而个获得大口径平面镜的中阶面形数据，避免中阶面形检测受环境震动的影响并降低检测成本。且本发明中还利用中阶面形检测装置和低阶面形检测装置相结合，实现大口径平面镜中低面形检测。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 平面镜 低阶 检测 装置 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
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