[发明专利]一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺在审

专利信息
申请号: 202010530548.2 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN111560591A 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 张红;巩燕龙;郑琦林;刘月豹;凌颖;高峰;张浩;石荣飞 申请(专利权)人: 安徽方兴光电新材料科技有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/10;C23C14/08;C08J7/06
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 233010 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种加热前后方阻恒定的低温镀膜工艺,将成卷的柔性PET基材放置于放卷辊轮上,牵引柔性PET基材一端经过低温镀膜室缠绕在收卷辊轮上,利用收卷辊轮提供动力牵引柔性PET基材放卷并在收卷辊轮上进行缠绕收集;PET基材在低温镀膜室内依次经过底层SiO2镀膜区、ITO镀膜区和表层SiO2镀膜区;向ITO镀膜区通入氩气和氧气的混合气体,并控制氧气通入量在气体总通入量中的占比为2.3%;镀膜完成后的PET基材从收卷辊轮上取出,并通过清洗烘干装置进行清洗烘干,本发明通过不断试验找到合适的氧气通入量从而改善ITO层的结构,省却了一道PET基材的加热工序,保证了方阻恒定,提高加工效益且降低了能耗,同时提高了ITO膜层的稳定性。
搜索关键词: 一种 加热 后方 恒定 低温 镀膜 工艺
【主权项】:
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