[发明专利]镀敷装置及镀敷方法有效
申请号: | 202010532732.0 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN112080783B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 细川孝夫 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | C25D17/16 | 分类号: | C25D17/16;C25D5/08;C25D21/06;C25D21/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种镀敷装置及镀敷方法,镀敷装置具备镀敷槽和镀敷部。镀敷部具备:隔壁,其是使镀敷液通过而不使被镀敷物通过的隔壁,构成被镀敷物在其内侧通过的被镀敷物通过区域;喷射部,其向上方喷射镀敷液;混合部,其将镀敷液与被镀敷物混合;阳极,其配设在被镀敷物通过区域的外侧;阴极,其配设在被镀敷物通过区域的内侧,具有使镀敷液与被镀敷物的混合流体朝向上方通过的中空区域;第一遮挡壁,其用于将通过了中空区域的混合流体向下方引导;以及第二遮挡壁,其配设在第一遮挡壁的外侧。第一遮挡壁的下端处于比第二遮挡壁的上端低的位置。 | ||
搜索关键词: | 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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