[发明专利]镀敷装置及镀敷方法有效

专利信息
申请号: 202010532732.0 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN112080783B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 细川孝夫 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: C25D17/16 分类号: C25D17/16;C25D5/08;C25D21/06;C25D21/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 李国华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种镀敷装置及镀敷方法,镀敷装置具备镀敷槽和镀敷部。镀敷部具备:隔壁,其是使镀敷液通过而不使被镀敷物通过的隔壁,构成被镀敷物在其内侧通过的被镀敷物通过区域;喷射部,其向上方喷射镀敷液;混合部,其将镀敷液与被镀敷物混合;阳极,其配设在被镀敷物通过区域的外侧;阴极,其配设在被镀敷物通过区域的内侧,具有使镀敷液与被镀敷物的混合流体朝向上方通过的中空区域;第一遮挡壁,其用于将通过了中空区域的混合流体向下方引导;以及第二遮挡壁,其配设在第一遮挡壁的外侧。第一遮挡壁的下端处于比第二遮挡壁的上端低的位置。
搜索关键词: 装置 方法
【主权项】:
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