[发明专利]一种长条型钼靶的制备方法有效
| 申请号： | 202010536764.8 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111647860B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 方宏;孙虎民;岳灿甫 | 申请（专利权）人： | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/20;B22F3/24;B22F5/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 李现艳 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳市中国（*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种长条型钼靶的制备方法，包括以下步骤：步骤一：选取适量的钼粉，进行胶套装粉，将装过粉的胶套进行冷等静压成型，得到坯体；步骤二：将步骤一得到的坯体在氢气保护气氛下进行烧结，得到烧结坯；步骤三：将步骤二得到的烧结坯先在氢气保护下进行加热，然后再进行热挤压，之后退火、校平；步骤四：将步骤三处理后的产品进行磨削等机加工，得到最终所需尺寸的钼靶材产品，本专利工艺步骤简单，制备的长条钼溅射靶材纯度、相对密度、晶粒度均满足TFT‑LCD显示镀膜领域使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛，便于工业化批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长条 型钼靶 制备 方法 | ||
【主权项】：
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