[发明专利]晶体生长炉有效
| 申请号： | 202010536809.1 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111534854B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郭雪娇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶体生长炉，包括腔室、坩埚及通气结构，坩埚设置于腔室内，通气结构包括通气管路和设置在腔室中的汇流室；通气管路的进气口开设于腔室的底壁上，通气管路穿过腔室的底壁，与汇流室相连通；汇流室设置于坩埚的下方，与坩埚的底壁固定连接，用以将通气管路内的工艺气体汇聚至坩埚的底壁。应用本申请，提升了参与反应的工艺气体的均匀性，从而提高了工艺结果的重复性和稳定性，且可以满足通气操作的实时性，提升了设备调试窗口的确定性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 | ||
【主权项】：
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