[发明专利]超声换能器制备方法、超声换能器及信息采集元件在审
| 申请号： | 202010537595.X | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111446360A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王文轩;沈健;王红超;纪登鑫 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/312 | 分类号： | H01L41/312;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京合智同创知识产权代理有限公司 11545 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 518045 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种超声换能器制备方法、超声换能器及信息采集元件，超声换能器制备方法包括在载片晶圆上形成未经图形化处理的第一电极层；在第一电极层的第一表面上形成压电层；在压电层的第一表面上形成第二电极层，并对第二电极层进行图形化处理，形成第二电极；将在第二电极的第一表面上形成的支撑振膜层与基底层的第一表面进行键合，并去除载片晶圆；对第一电极层进行图形化处理，以形成第一电极。该方案能够在保证压电层压电结构的完整性以及保证压电层中压电材料的压电性能不会受到影响的前提下，对压电层双面电极层的全部区域进行图形化处理。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 制备 方法 信息 采集 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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