[发明专利]一种铟锡合金靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010540058.0 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN111809152B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;梁振耀;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C13/00;B22C3/00;C22C28/00;B21B1/46;B21B37/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铟锡合金靶材的制备方法，具体为：将金属铟和金属锡放入坩埚中，加热熔化，搅拌至熔体成分均匀；将熔体浇铸成型，得到铟锡合金铸锭；对铟锡合金铸锭进行轧制，得到铟锡合金坯；将铟锡合金坯加工至比目标尺寸厚的粗靶坯，且粗靶坯的绑定面加工至光滑；将配套的背板和粗靶坯分别以低于粗靶坯临界熔点的温度进行加热并保温，然后将两者贴合夹紧并逐步冷却至室温，绑定合格后，将粗靶坯加工至目标尺寸。本发明可实现快速批量生产铟锡靶材，靶坯与背板之间不存在任何熔融介质，靶坯纯度高，晶粒大小均匀且粒度较小，平均粒度为100～150μm，组分均匀性好，铟锡组分偏差小于±0.5％，溅射效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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