[发明专利]一种具有变径流道的控温装置及半导体生产设备在审
| 申请号： | 202010540706.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113804045A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 褚鑫辉;郭月;谭华强;赵婷婷 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F28F13/08 | 分类号： | F28F13/08;H01L21/67;C23C16/52 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 王翠 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有变径流道的控温装置及半导体生产设备，其中，所述控温装置将本体中的流道设计为内径由进口至出口大小不均一，即流道内径是大小变化的，通过上述流道的结构设计后，使得冷却液在本体的流道中流动时，随着内径的变化，会产生湍流，利用湍流效应提高控温装置的换热效率，降低对于热水机的能耗；所述半导体生产设备中设置有具有上述流道特征的内置控温管道；所述控温装置，具有结构简单、设计合理、换热效率高、运行成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有变 径流 装置 半导体 生产 设备 | ||
【主权项】：
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