[发明专利]一种碳化硅抛光液及其应用有效
| 申请号： | 202010541121.2 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111518478B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 胡静泉;刘和欣 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳化硅抛光液及其应用，属于碳化硅抛光液领域。本发明提供了一种碳化硅抛光液，使用非水溶剂，利用非水溶剂代替水，避免了抛光液中各组分的反应活化能、配位性能和氧化还原电位等特性都受制于水性溶液的束缚的问题，本发明提供的碳化硅抛光液具有良好的金刚石悬浮性，能够提高抛光效率，且无挥发性问题，易于长期储存，是理想的半导体化合物晶圆制造亚纳米级光洁度的抛光液。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 抛光 及其 应用 | ||
【主权项】：
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