[发明专利]一种回旋离子束加工装置在审
| 申请号： | 202010542689.6 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111739776A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 任明俊 | 申请（专利权）人： | 上海琳鼎光学科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/305;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海浙晟知识产权代理事务所(普通合伙) 31345 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 201109 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种回旋离子束加工装置，属于离子加工设备技术领域。它包括工作台、离子源、离子束引出装置、离子束速度选择器、离子束聚焦组件、末端离子束束流检测器、三维移动平台。通过均匀磁场使得离子束做回旋运动，三维移动平台控制离子束逐渐接近工件表面，对工件材料表面进行加工，由于离子束做回旋运动，加工完成后完全射出磁场，不会继续对工件表面造成损伤，因此，去除量一致性较好，工件表面更加平整；末端离子束束流检测器能够判断离子束与工件表面的接触情况以及当前接触点的材料去除是否已经完成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回旋 离子束 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海琳鼎光学科技有限公司，未经上海琳鼎光学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010542689.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
