[发明专利]氧化镓基异质结集成光电芯片、远程紫外阵列监测器及其制作方法

摘要

本发明涉及氧化镓基异质结集成光电芯片、远程紫外阵列监测器及其制作方法，包括依次设置的蓝宝石单晶衬底、Sn:β‑Ga2O3圆形薄膜和复合薄膜；复合薄膜包括位于同一平面上且排成圆形的La2O3薄膜、ZnO薄膜、NiO薄膜、Tb2O3薄膜、Ta2O5薄膜、Sm2O3薄膜、Nd2O3薄膜和Zn:β‑Ga2O3薄膜；还包括一一对应的上部Ti/Au薄膜电极和下部Ti/Au薄膜电极，所述上部Ti/Au薄膜电极形成在所述复合薄膜上，并分别与La2O3薄膜、ZnO薄膜、NiO薄膜、Tb2O3薄膜、Ta2O5薄膜、Sm2O3薄膜、Nd2O3薄膜和Zn:β‑Ga2O3薄膜一一对应，所述下部Ti/Au薄膜电极位于Sn:β‑Ga2O3圆形薄膜上。本发明所制备的氧化镓基异质结集成芯片性能稳定，对宽波段的紫外线光谱具有高响应度和灵敏度，暗电流小，可以智能鉴定紫外线的波长，具有很大的应用前景。