[发明专利]一种3D微/纳米结构的构筑方法有效
| 申请号： | 202010544791.X | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111646428B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 杨光红;贾彩虹 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人： | 胡向阳 |
| 地址： | 475001*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种3D微/纳米结构的构筑方法，包括以下步骤：(1)在基板上固定材料源，抽真空处理；(2)聚焦电子束的焦点在上述步骤(1)的材料源表面0‑100nm的距离处，形成包含有电子束焦点和表层原子的界面局域区；(3)控制电子束的焦点按照设计的3D微/纳米结构逐点移动，实现3D微/纳米结构的构筑。本发明的构筑方法，利用聚焦电子束焦点热辐射调控材料源表层原子，使表面原子动能增加，进而克服表面能的约束，自表面逃逸，同时界面局域区原子密度的不均衡及势能差使材料源的表层原子向低密度区扩散，从而实现在微/纳米尺度下三维结构的实时构筑，对纳米技术及3D打印的融合发展起到推动作用，具有较好的应用推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 构筑 方法 | ||
【主权项】：
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