[发明专利]一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统有效
| 申请号： | 202010546633.8 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN112462601B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 匡治安;于兴虎;高会军 | 申请（专利权）人： | 宁波智能装备研究院有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 杜阳阳 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种面向晶圆扫描平台的精密鲁棒控制方法及系统。该方法包括：建立晶圆扫描平台系统模型；获取晶圆扫描平台系统的反馈信号和参考信号；根据上述信号确定晶圆扫描平台的位置误差；根据位置误差设计分数阶滑模面；对分数阶滑模面进行求导处理得到求导处理后的数据；根据求导处理后的数据和晶圆扫描平台系统模型得到等效控制率；确定趋近控制率；根据等效控制率和趋近控制率确定最终控制率；根据最终控制率对晶圆扫描平台控制器的相关参数进行调整。本发明能够解决现有控制方法在晶圆扫描平台上控制精度不够、鲁棒性不足的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 圆扫描 平台 精密 鲁棒控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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