[发明专利]正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜在审
| 申请号： | 202010547418.X | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN112147846A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 金莲玉;许槿;郑周永;任珍奎;金智雄 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/027;G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱文宇;陈哲锋 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物和一种由其制备的固化膜。所述正型光敏树脂组合物将多官能单体引入包含其中将硅氧烷共聚物添加到丙烯酸类共聚物中的混合粘合剂的正型光敏树脂组合物中，由此在使预烘烤的膜显影时可以促进显影剂渗透到所述粘合剂中以增加在显影剂中的溶解性，从而进一步增强图案可显影性和敏感性。此外，由所述组合物制备的固化膜具有优异的外观特征，在显影期间没有粗糙的膜表面和在膜底部的浮渣等。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 制备 固化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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