[发明专利]基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法有效
| 申请号： | 202010547450.8 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN111725385B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 崔岩;李嘉豪;于舜尧;王大志;高志东 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01L41/314 | 分类号： | H01L41/314;H01L41/318;C23C18/12;B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统技术领域，提供了基于溶胶‑凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法。本发明制备的复合型PZT压电膜膜厚可达几至上百微米，且与传统单一电射流沉积法制备的PZT压电膜相比，复合型PZT压电膜微孔隙缺陷减少，晶体择优取向度提高，与上下电极结合条件良好，压电性和铁电性等性能有明显提升。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 溶胶 凝胶 射流 沉积 复合型 pzt 压电 制备 方法 | ||
【主权项】：
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