[发明专利]非接触式加热的倒装焊工艺方法有效
申请号: | 202010549393.7 | 申请日: | 2020-06-16 |
公开(公告)号: | CN111653494B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 李金龙;熊化兵;李双江;张文烽;王旭光;江凯 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/488 |
代理公司: | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人: | 袁泉 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种非接触式加热的倒装焊工艺方法,包括以下步骤:提供一倒装焊设备,准备一具有焊料球凸点的芯片和一具有焊盘的管壳;将芯片具有焊料球凸点的一面与管壳相对;吸头携带芯片移动至管壳上方对应的焊接位置;吸头携带芯片下压管壳,在检测到焊料球凸点与焊盘之间的压力达到预设接触力时,吸头停止移动;吸头离开芯片并向上抬升;启动吸头加热,使吸头表面升温至预设温度后保持相应时间,对芯片加热以熔化焊料球;吸头停止加热并上抬复位,完成芯片与管壳的焊接。该工艺方法简化了整个工艺流程,极大提高了生产效率,焊接过程中芯片与管壳具有自对准效应,还能有效避免因焊料球凸点与焊盘之间的机械应力导致的焊料球凸点压缩不均匀问题。 | ||
搜索关键词: | 接触 加热 倒装 焊工 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造