[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010549449.9 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN112039467A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H01L41/047;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，薄膜体声波谐振器包括：第一衬底，设有第一空腔；压电叠层结构，遮盖第一空腔，压电叠层包括从下至上依次设置在第一衬底上的第一电极、压电层和第二电极；第一电极包括位于有效谐振区的第一电极谐振部和延伸至第一空腔外的第一电极引出部；第一电极引出部与第一电极谐振部的连接处远离压电层凸起形成第一空隙；第一电极谐振部位于第一空腔内；第二电极包括位于有效谐振区的第二电极谐振部和延伸至第一空腔外的第二电极引出部，第二电极引出部与第二电极谐振部的连接处远离压电层凸起形成第二空隙；第二电极谐振部位于第一空腔内。能够提高薄膜体声波谐振器的品质因子，进而提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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