[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010549457.3 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN112039468A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，谐振器包括：第一衬底，设置有第一空腔；压电叠层结构从下至上包括第一电极、压电层和第二电极，第一电极和第二电极的边缘均位于第一空腔边界内；第一介质层，位于第一衬底和压电层之间，且第一介质层包围第一电极并围成封闭环形；第一电极引出结构，连接第一电极的边缘延伸至无效谐振区作为第一信号连接端，在有效谐振区的边缘与压电叠层结构围成第一空隙；第二电极引出结构，连接第二电极的边缘延伸至无效谐振区作为第二信号连接端，在有效谐振区的边缘与压电叠层结构围成第二空隙。能够提高薄膜体声波谐振器的品质因子，进而提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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