[发明专利]一种NiV合金靶材及其成型的方法与用途在审
| 申请号： | 202010555535.0 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111549324A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周敏 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03;B21B45/00;B21B37/74;B21B37/56;B21B3/00;C22F1/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种NiV合金靶材及其成型的方法与用途，所述方法通过采用预热和保温的方式实现NiV合金靶材的热轧成型，相较于原有冷轧成型方式减少了NiV加工过程中开裂事故，提高了生产效率，且能够得到均匀细小的微观组织，制得的NiV合金靶材能够较好地满足现有半导体领域常规NiV合金靶材的使用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 niv 合金 及其 成型 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010555535.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种中药组合物及其制备方法和应用
- 下一篇：颗粒肥料播撒辅助装置及使用方法
- 同类专利
- 专利分类
