[发明专利]一种用于扫描电镜观察背散射电子像的装置和方法

摘要

本发明属于材料微观测试领域，目的在于提供一个使用扫描电镜样品室内己有的E.T.检测器观察背散射电子像的装置和方法。该装置由高角度样品预倾斜放置面和背散射电子反射板组成。与原有的用扫描电镜E.T.检测器接收背散射电子成像的技术相比可以收到样品更多的背散射电子，提高检测效率，得到更好原子序数分辨的背散射电子像。本发明的观察装置具有结构简单，性能可靠，便于操作的特点，可以方便地对各种材料样品进行背散射电子图像观察，还可以记录材料的微观成分相，具有直观的检测特性，便于结合X射线能谱选点和面分布进一步对应分析，为新材料的检测和开发提供可靠的性能参数。