[发明专利]一种应用于探针台的电荷排布装置在审
| 申请号： | 202010557954.8 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111551843A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;张海洋;吕文波 | 申请（专利权）人： | 苏州伊欧陆系统集成有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 陈丽萍 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体测试设备技术领域，具体涉及一种应用于探针台的电荷排布装置。本发明包括通过连接板固定在探针平台上且左右两侧均开设有定位通孔的密封顶盖、设置在探针平台上的保护层、设置在探针平台与保护层之间的绝缘层、固定在探针平台左右两侧的侧板、固定在探针平台前后两端的前板和后板、通过支撑垫块固定在探针台底座上的支撑骨架、卡设在支撑骨架上的滑动底板组件；探针台的载物台穿过滑动底板组件转动连接在探针台底座上。通过管理电荷排布结构，使测试物处于一个“法拉第笼”腔体中，通过对探针台各结构的电势排布管理，减少了寄生电容、共模电压、接地环路电流等不利于集成电路测试的因素的发生，从而提高了探针台的测试能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 探针 电荷 排布 装置 | ||
【主权项】：
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