[发明专利]一种DI光刻机的LED光学系统在审
| 申请号： | 202010558092.0 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111610697A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王华;吴中海;陈志特;冯明瑞 | 申请（专利权）人： | 东莞科视自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人： | 成伟 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种DI光刻机的LED光学系统，包括近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头；近紫外LED发光源模组包括若干个近紫外LED发光源，每个近紫外LED发光源分别通过一聚光镜头与光刻模组连接，若干个近紫外LED发光源错开排列在光刻模组的两侧；光刻模组包括若干个DMD光刻装置，若干个DMD光刻装置呈直线排列，DMD光刻装置的一端与成像镜头连接，另一端与聚光镜头连接；近紫外LED发光源与DMD光刻装置所在直线与若干个DMD光刻装置所在直线之间的夹角小于90度；近紫外LED发光源内置有若干个近紫外LED发光体。本发明解决了目前半导体激光器某些波段功率不足以及小型LED复合光源能量低的问题，且其结构简单，能源消耗低，制造成本低，性能稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 di 光刻 led 光学系统 | ||
【主权项】：
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