[发明专利]多层碳化硅/二氧化硅/金刚石复合自支撑膜及制备方法有效
| 申请号： | 202010561139.9 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111747414B | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 马永;于盛旺;郑可;马丹丹;高洁;王永胜;申艳艳 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C01B32/984 | 分类号： | C01B32/984;C01B33/12;C01B32/26 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 张宏 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明为一种多层碳化硅/二氧化硅/金刚石复合自支撑膜，属于化学气相沉积技术领域。该自支撑膜由SiC/SiO |
||
| 搜索关键词： | 多层 碳化硅 二氧化硅 金刚石 复合 支撑 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于太原理工大学，未经太原理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010561139.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
