[发明专利]薄膜生长样品托在审
| 申请号： | 202010564360.X | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111707684A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 严紫君;吴鹏阳;张润楠;王干;邱杨 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 徐汉华 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜生长样品托，包括托盘和安装于托盘上的压片，压片上开设有第一通孔，第一通孔中安装有载物圆片。第一通孔远离托盘一端的直径小于2.8mm，第一通孔靠近托盘一端的直径大于或者等于3.2mm，载物圆片的直径范围为2.8mm‑3.2mm。通过在压片上开设第一通孔，第一通孔可供载物圆片伸入并对其固定。在通过分子束外延技术进行薄膜生长时，载物圆片上可形成直径约为3mm的薄膜。由于载物圆片的直径满足透射电子显微镜的样品杆所需样品的尺寸要求，可直接将载有薄膜的载物圆片放入透射电子显微镜的样品杆中，方便对薄膜的观察，可解决厘米级的基底无法直接放入透射电子显微镜的样品杆中而对薄膜进行观察的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 生长 样品 | ||
【主权项】：
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