[发明专利]具有多个电流局限层的垂直共振腔表面放射激光二极管（VCSEL）

摘要

本发明涉及一种具有多个电流局限层的垂直共振腔表面放射激光二极管(VCSEL)，即具有多个电流局限层的VCSEL，两主动层之间一般需设置穿隧接面层而让电流从一主动层流入另一主动层，但穿隧接面层会导致电流在一主动层的发散情形变得严重，导致另一主动层中的电流难以局限于所需区域，因此在两主动层之间提供具有载子与光局限功能的电流局限层，以使在电流局限层之上及/或之下的主动层的载子或光的局限效果能获得增进，有助于提高VCSEL的光电特性，与现有的VCSEL相比，具有多个电流局限层的VCSEL能明显提升VCSEL的光功率、斜效率与功率转换效率。