[发明专利]晶圆盒清洗装置和晶圆盒清洗装置的控制方法有效
| 申请号： | 202010571977.4 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111842380B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈建铭;卢健平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/28 | 分类号： | B08B9/28;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 蔡梦媚 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆盒清洗装置和晶圆盒清洗装置的控制方法，晶圆盒清洗装置包括腔体、旋转架、清洗组件和温度测量结构，腔体内限定出清洗腔，旋转架可转动地设于清洗腔内，且用于固定晶圆盒，清洗组件设于腔体上且包括蒸汽清洗结构和水清洗结构，蒸汽清洗结构通过第一喷嘴与清洗腔连通以向清洗腔喷出蒸汽，水清洗结构通过第二喷嘴与清洗腔连通以向清洗腔喷水，温度测量结构用于检测晶圆盒的壁面温度。根据本发明的晶圆盒清洗装置，可以提升晶圆盒的清洗效率和清洗效果，同时避免了晶圆盒高温变形，保证晶圆盒结构稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆盒 清洗 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
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