[发明专利]半导体封装及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202010572452.2 申请日: 2020-06-22
公开(公告)号: CN112447642A 公开(公告)日: 2021-03-05
发明(设计)人: 陈威宇;苏安治;黄立贤;杨天中;叶名世 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/485;H01L23/50;H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 王素琴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 提供一种半导体封装及其制造方法。半导体封装包含半导体管芯及横向地覆盖半导体管芯的绝缘密封体。半导体管芯包含半导体衬底、分布在半导体衬底上方的多个导电衬垫、设置于导电衬垫上且电连接到导电衬垫的多个导通孔,以及设置于半导体衬底上方且使导通孔彼此间隔开的介电层。介电层的侧壁沿着导通孔的侧壁延伸,导通孔从介电层的顶表面凹陷且介电层的倾斜表面连接到介电层的顶表面及介电层的侧壁。
搜索关键词: 半导体 封装 及其 制造 方法
【主权项】:
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