[发明专利]蒸镀用掩膜版有效
| 申请号： | 202010573468.5 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN111549316B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 黄琰;马益;嵇凤丽;罗昶;张国梦;李剑波 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 王佳璐 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了蒸镀用掩膜版。蒸镀用掩膜版包括多个预定区域，预定区域包括开口和遮挡区，遮挡区包括第一区、第二区和第三区，第一区具有第一表面和第二表面，第二区具有第三表面和第四表面，第三区具有第五表面和第六表面，第一表面、第三表面和第五表面位于掩膜版的同一侧，第二表面、第四表面和第六表面位于掩膜版的同一侧，第二区的厚度大于第一区的厚度和第三区的厚度，第一表面与第三表面齐平，第六表面所在的平面位于第三表面所在的平面和第四表面所在的平面之间。由此，减轻了掩膜版的整体重量，从而可以减轻掩膜版在蒸镀过程中的下垂量，进而提高掩膜版的位置精度，减小阴影，提高蒸镀品质，更有利于实现显示屏的窄边框的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀用掩膜版 | ||
【主权项】：
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