[发明专利]一种基于CuAlO2

摘要

本发明公开了一种CuAlO2/SiC紫外光电二极管，包括顶电极和底电极，两电极之间由顶电极向底电极方向依次设置有P型晶体CuAlO2薄膜、I型SiC薄膜和N型SiC衬底，本发明还公开了一种CuAlO2/SiC紫外光电二极管的制备方法，首先对N型SiC衬底进行清洗，清洗后吹干待用；在清洗后的N型SiC衬底上进行本征SiC同质外延层生长；在本征SiC同质外延层上进行P型晶体CuAlO2异质外延层生长；在P型晶体CuAlO2异质外延层上制作顶电极；对N型SiC衬底下表面制作底电极，最终形成CuAlO2/SiC紫外光电二极管，本发明具有良好的光电响应，稳定性好，反应灵敏，加工工艺重复性好。