[发明专利]声表面波湿度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010578725.4 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111693601B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 尹小波;尹堃;郭棋武;胡泽超 | 申请（专利权）人： | 湖南中大检测技术集团有限公司;湖南中云科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/22 |
| 代理公司： | 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 | 代理人： | 柏琳容 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种声表面波湿度传感器及其制作方法。该声表面波湿度传感器，设在衬底上表面的压电薄膜、设在压电薄膜上表面的叉指电极和ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层；其中，涂覆在叉指电极的上表面和/或压电薄膜未被叉指电极覆盖的上表面的ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层由以下步骤实现：将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1‑5mg:50‑2000μL混合，并加入子水稀释，超声分散得到敏感溶液；将敏感溶液涂在声表面波器件上并烘干即可。该声表面波湿度传感器的灵敏度高达40.16kHz/％RH。本发明还包括上述声表面波湿度传感器的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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